——對(duì)控制精度、重復(fù)性有更高要求的行業(yè)配套客戶(hù)優(yōu)選

EC400易度智能半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)口質(zhì)量流量控制器MFC通過(guò)產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補(bǔ)償及核心算法，在低零點(diǎn)、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了杰出性能。堅(jiān)固的金屬外殼，使產(chǎn)品在工業(yè)復(fù)雜環(huán)境下確保耐用性和強(qiáng)抗電磁干擾性能，同時(shí)，內(nèi)置多種氣體和混氣設(shè)置，數(shù)字式和模擬式的通訊方式，實(shí)現(xiàn)流量的精確測(cè)量和控制。

量程范圍：0.5sccm~5000slpm

特征：

l 原理：層流壓差式流量計(jì)

l 高精度：±0.5%設(shè)定值精度

l 高重復(fù)性：±0.1%F.S.

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以?xún)?nèi)

l 標(biāo)配：數(shù)字信號(hào)RS485，選配：模擬信號(hào)0-20mA或0~5V

l 內(nèi)置70種氣體和混氣測(cè)量

l 提供上位機(jī)軟件實(shí)時(shí)顯示和下載數(shù)據(jù)信息

使用條件：

l 兼容內(nèi)置的70種氣體和可編輯的混合氣體

l 閥門(mén)種類(lèi)：N/C（常閉型）

l 工作流量范圍：1%~120%F.S.

l 介質(zhì)溫度：-20℃~60℃

l 環(huán)境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無(wú)冷凝）

l 工作壓差范圍：100kPa~700kPa

l 工作壓力：1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 供電電壓：﹢（19~29）VDC

l 消耗電流：＜150mA (供電電壓為24v時(shí)) ＜300mA（＜5V）

l 安裝方式：任意角度

l 進(jìn)出口：管螺紋（內(nèi)螺紋）

l 接氣部材質(zhì)：SUS304，SUS316L

l 接氣部密封材質(zhì)：橡膠圈密封：氟橡膠

應(yīng)用場(chǎng)景

l 光學(xué)、原子鍍膜設(shè)備中的流控器件

l 制造設(shè)備中流控系統(tǒng)的集成和配套

l 精細(xì)化工生產(chǎn)線(xiàn)中的流控器件

l 生物反應(yīng)器成套設(shè)備中的流控器件

l 配氣系統(tǒng)或裝置中的流控器件

l 分析儀器、科學(xué)儀器中的流控器件

l 定制化成套自動(dòng)化設(shè)備中的流控器件

EC400易度智能半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)口質(zhì)量流量控制器MFC適用于對(duì)精度、重復(fù)性要求更高的配套用戶(hù)。